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第277章 情绪点兑换 光刻机双工件台与照明系统初步原理(第1页)

深夜,香港浅水湾別墅的书房里,只有檯灯亮著一圈昏黄的光。

王恪面前的笔记本摊开著,上面是龙芯量產遇到的各种工艺问题:东芝的1.2微米產线良率始终卡在70%,无论如何优化都上不去。

张维从东京发回的报告里写得很清楚:“不是设计问题,是製造问题。

我们的设计已经做到1微米以下的理论极限,但东芝的產线只能稳定做1.5微米,1.2微米已经是超频运行。”

问题归根结底是设备。

光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备……这些核心装备,中国造不了,日本也造不了最好的——最好的在荷兰asml,在美国应用材料,在德国蔡司。

而这些公司对中国有出口限制,就算能买到,也是落后两代的產品。

王恪放下笔,揉了揉发胀的太阳穴。

窗外的海一片漆黑,只有远处灯塔有规律地闪烁。

他调出系统界面。

自从“崑崙”

项目成功,情绪点又涨了一大波,现在余额是:1,287,654点。

主要来自航天和军工部门的认可,来自高校师生的感激,来自明远员工的自豪。

足够兑换很多东西了。

他搜索“光刻机”

列表弹出,价格高得嚇人:

【接触式光刻机基础原理(1970年代水平):50,000点】

【接近式光刻机技术详解(1980年代主流):150,000点】

【步进式光刻机核心技术(超前5年):500,000点】

【浸润式光刻机概念雏形(超前10年):1,200,000点】

【极紫外(euv)光刻技术前瞻(超前20年):5,000,000点(需前置知识解锁)】

王恪的目光落在第三项:“步进式光刻机核心技术”

这是未来十年的主流技术,能把晶片工艺推进到0.5微米甚至0.35微米。

但五十万点,几乎是他现有点数的一半。

他往下翻,看到了更细分的选项:

【光刻机双工件台设计原理:180,000点】

【光刻机照明系统与光源技术:120,000点】

【光刻机物镜系统与像差校正:200,000点】

【光刻机对准与测量系统:100,000点】

【光刻机控制系统与软体:80,000点】

就像买车,整车买不起,可以先买零件。

王恪盯著“双工件台”

和“照明系统”

这两项。

双工件台是步进式光刻机的核心创新——一个台子在曝光,另一个台子在对准和测量,交替工作,大幅提高生產效率。

照明系统则决定了光刻的解析度和精度。

两者加起来三十万点,还在承受范围內。

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