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深夜,香港浅水湾別墅的书房里,只有檯灯亮著一圈昏黄的光。
王恪面前的笔记本摊开著,上面是龙芯量產遇到的各种工艺问题:东芝的1.2微米產线良率始终卡在70%,无论如何优化都上不去。
张维从东京发回的报告里写得很清楚:“不是设计问题,是製造问题。
我们的设计已经做到1微米以下的理论极限,但东芝的產线只能稳定做1.5微米,1.2微米已经是超频运行。”
问题归根结底是设备。
光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备……这些核心装备,中国造不了,日本也造不了最好的——最好的在荷兰asml,在美国应用材料,在德国蔡司。
而这些公司对中国有出口限制,就算能买到,也是落后两代的產品。
王恪放下笔,揉了揉发胀的太阳穴。
窗外的海一片漆黑,只有远处灯塔有规律地闪烁。
他调出系统界面。
自从“崑崙”
项目成功,情绪点又涨了一大波,现在余额是:1,287,654点。
主要来自航天和军工部门的认可,来自高校师生的感激,来自明远员工的自豪。
足够兑换很多东西了。
他搜索“光刻机”
。
列表弹出,价格高得嚇人:
【接触式光刻机基础原理(1970年代水平):50,000点】
【接近式光刻机技术详解(1980年代主流):150,000点】
【步进式光刻机核心技术(超前5年):500,000点】
【浸润式光刻机概念雏形(超前10年):1,200,000点】
【极紫外(euv)光刻技术前瞻(超前20年):5,000,000点(需前置知识解锁)】
王恪的目光落在第三项:“步进式光刻机核心技术”
。
这是未来十年的主流技术,能把晶片工艺推进到0.5微米甚至0.35微米。
但五十万点,几乎是他现有点数的一半。
他往下翻,看到了更细分的选项:
【光刻机双工件台设计原理:180,000点】
【光刻机照明系统与光源技术:120,000点】
【光刻机物镜系统与像差校正:200,000点】
【光刻机对准与测量系统:100,000点】
【光刻机控制系统与软体:80,000点】
就像买车,整车买不起,可以先买零件。
王恪盯著“双工件台”
和“照明系统”
这两项。
双工件台是步进式光刻机的核心创新——一个台子在曝光,另一个台子在对准和测量,交替工作,大幅提高生產效率。
照明系统则决定了光刻的解析度和精度。
两者加起来三十万点,还在承受范围內。
...
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